材料本身所具有的性能，必須通過正確的熱處理手段來達到。隻有良好的熱處（chù）理手段，才能實現我們預想的性能期望。根據塑封模具材料性能（néng）要求（qiú），塑封模熱處理手段主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火，並多次反複，通過這些不同的處理，達到最佳的模具（jù）性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材料的剛性和耐磨損性，一般材料均需加熱（rè）到1030℃以上。高溫下，各種合金元素充分溶（róng）解於奧氏體內，以便在淬火時獲得高的基體硬度，同時為了保證零件不發生脫碳氧化，相應采用了真空處理。目前半導（dǎo）體行業內使用的高（gāo）速率氣淬淬火爐，可以在（zài）高（gāo）真空條件下通過氮（dàn）氣保護對工件進行加熱，既保證了工件的脫（tuō）碳氧化，又防（fáng）止了合金元素的蒸發。同時（shí）采用200-500Kpa範（fàn）圍內可調節氣體壓力，對工件進行淬火冷卻，在保（bǎo）證工件充分淬透的（de）同時又減少了變形（xíng）。 
2、深冷處理與高溫回火 
    高合金鋼在淬火後，由於（yú）其馬氏體（tǐ）轉變點（Ms點）均高於室溫，為了（le）提高硬度，保證尺寸穩定性，通常要進行深冷處理和高（gāo）溫回火，以（yǐ）保證殘餘奧氏體（tǐ）充分轉變為穩定的回火馬氏體（tǐ）。我們將經過真空淬火後的工件，在室溫至100℃之間進行校正，然後（hòu）放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在不（bú）出爐的（de）情況下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不會因為進出爐而產（chǎn）生變形或開裂。同時由於采用氮氣保護也避免了（le）工（gōng）件在回火中的（de）氧化開裂。目前對於D2類材料，我們通常在深冷設（shè）備中直接（jiē）完成-140℃深（shēn）冷（lěng）至230℃回火的3次循環。對於高（gāo）於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們（men）采用了真空回火爐，在抽真空後，加入99.999%的高純氮氣作（zuò）為介質，通（tōng）過吹風方向的改變來（lái）形成（chéng）對流，保證了工件的溫度均勻性，同時節省了回火時（shí）間。 
3、其它輔助手段（duàn） 
    在提高了淬火回火及深冷處理質量的同時，我們同時對工件的其它環節給予（yǔ）了充分的重視，過去認為的（de）熱處理工件潔淨度與處理無關的觀點已經被拋棄，增加潔淨預處理。即將未入爐零件，通過真空清洗機進行真空去油、脫脂、幹燥。去除（chú）了工件的各類加（jiā）工油汙和碎屑，保證了入爐工件不會帶（dài）入其它雜（zá）質，避免了在高溫加熱時雜質分解，汙染爐內環境和工件本身，從（cóng）微觀上保證了工件的組織潔淨度和處理質量的完美性，提高了工件（jiàn）的使用壽命。

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